I think that you can pick up the three of them.
Here are the diffrence.
遅く / 遅くなる = adverb
遅れ = noun
遅れる = verb
遅刻 = noun
遅刻する = verb
An example, when you will be late for 20 minutes, you can say,
①20分、遅くなりそうです。<-using "遅くなる"
②20分、遅れそうです。<-using "遅れる"
③20分、遅刻しそうです。<-using "遅刻する"
Here are some casual ways to say "I'll be late for 20 minutes",
①20分着くのが遅くなっちゃいそう。<-using "遅くなる"
②20分、遅れそうなんだけど。<-using "遅れる"
③20分、遅刻しそう。<-using "遅刻する"
*遅刻"し", 遅刻"す" is a kind of conjugation.
Here are some ways to say "I'm sorry, I'm late",
①遅くなって、すいません。<-using "遅くなる"
②遅れて、申し訳ございません。<-using "遅れる"
③遅刻して、すいません。<-using "遅刻する"
①②③'s meaning is "I'm sorry, I'm late".
Here are some casual ways to say "I'm sorry, I'm late",
①ゴメン。遅くなっちゃった。<-using "遅くなる"
②ごめん。遅れた。<-using "遅れる"
③遅刻しちゃって、ゴメン。<-using "遅刻する"