自己～＝self～ 自己紹介self-introduction　自己実現self-actualization　自己批判self-criticism ～自身=～'s self 彼自身himself　あなた自身yourself　山田さん自身Yamadasan's him/herself 自己 and 自身can mean "one's own self" as itself. For this meaning, 自分is more casual, colloquial, ordinal word, whereas 自己 and 自身 are more formal, academic, and somewhat sophisticated term.

「自分」は、それ単体だけでよく使います。 例： 　自分でやる = do it one's self 「自己」と「自身」は、主に熟語( idiom, phrase, compound word )で使われます。 例： 　自己中心的な行動 = selfish behavior 　自分自身のために働く = work for one's own self