Sorry for replying (too) late:
응답이 늦어서 죄송합니다. or 회신이 늦어서 죄송합니다. (응답: response, 회신: reply).
*응답이 늦은 것 죄송합니다. 회신이 늦은 것 죄송합니다 (sorry for my late reply).
*뒤늦은 회신 죄송합니다. same meaning but more formal and literary.
*늦다: late, belated. 늦어서: being late. 늦은 것: for my being late.